低飽和蒸氣壓、好一點的油水分離器性與氧化安定性，有一個好的抽氣速率和極限值真空

真空泵油的物理性能對真空得到機器的功效，較理想的真空泵油具備強的粘度系數、低飽和蒸氣壓、好一點的油水分離器性與氧化安定性，有一個好的抽氣速率和極限值真空。此外，不同類型的真空泵以及不同適用范圍對油泵的挑選也很重要。因真空泵油油品供貨不到位或市場中欠缺適宜的種類等多種因素，真空泵油在使用中有時也會產生油品代用、混用問題，包含國內油和國外油、國內油內不同種類的油、同一類油不一樣生產廠家或差異型號、新油和應用里的“舊”油混用這些。